용도 : 소재 및 소자의 나노구조적인 특성과 조성적 특성을 나노입자 1 개의 수준에서 분석
장비설명 : 본 장비는 시료표면의 모양을 ~3 nm 정도의 공간분해능으로 영상화 하는 목적으로 사용된다. 전자총으로부터 방출된 전자는 가속전압에 의해 가속되고 , 다시 집속렌즈로 수렴시켜 빠른 속도로 시료 위를 scanning 함으로서 요철부위에서 발생하는 2 차 전자를 검출 및 증폭하여 시료를 관찰할 수 있다 . 즉 , 시료의 미세구조를 해상도가 높은 입체구조 (3D) 로 관찰할 수 있다 .